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               III氮化物外延片中存在大量的穿透位错,使外延层膜呈现镶嵌结构,晶粒为平行于生长方向的柱状,其高度约等于膜厚,宽度约1μm。对于这种镶嵌,X射线衍射摇摆曲线的加宽主要来源于晶体中的缺陷,其他因素造成的加宽不会超过实际测量值的10%。因此,对于III族氮化物外延片的结晶质量,目前最好的测量方法是高分辨率X射线衍射方法,包括双晶摇摆曲线或者三轴晶衍射ω扫描。根据晶体质量与摇摆曲线半高宽的相关性,通过分析摇摆曲线,可以得到结晶质量的信息:晶体的完整性越高,半高宽越小,反之则越大。           
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