当前位置:半导体行业 >> 材料测试 >> 硼含量
           

     硅中磷元素含量,目前行业测量基本含量主要有GDMS/ICP -MS质谱检测仪、低温红外傅立叶光谱仪、 硼棒法(硅多晶真空区熔基硼检测法)。

版权所有:2008-2012 合能阳光 京ICP备10046290号 京公网安备11011 2000459号