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 标准厚度片 (以下简称标准片) 是用半导体硅材料制作而成经过精密抛光研磨等工艺制造的.其特点粗糙度小,平行度高,厚度精度高。

厚度标准片是用来给硅片厚度测量设备尤其是无接触硅片厚度测量设备做测量前厚度标定用的,其在干燥无酸环境下可以永久保存使用。

技术指标:

粗糙度:0.1um

平行度:0.1um

    厚度精度:0.1um
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