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硅中磷元素含量，目前行业测量基本含量主要有SIMS/GDMS/ICP -MS质谱检测仪、低温红外傅立叶光谱仪、 磷棒法（硅多晶气氛区熔基磷检测法）。
硅中磷元素含量，目前行业测量基本含量主要有SIMS/GDMS/ICP -MS质谱检测仪、低温红外傅立叶光谱仪、 磷棒法（硅多晶气氛区熔基磷检测法）。
