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产品简介
OWT-100采用PHYS独有技术，对透明、半透明材料的厚度、TTV进行无接 触测量，其对
透明、半透明材料的高精度精确测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。
产品特征
■无接触无损伤测量
■高精确度及重复性
■测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的厚度、TTV
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
■ 超高测试速度
技术指标
■测试尺寸：50mm-200mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■厚度测试精度：+/-0.1um
■厚度重复性精度：0.050um
■TTV 测试精度: +/-0.05um
■TTV重复性精度: 0.050um
■测量时间: <1秒
■材料：透明、半透明材料
■尺寸: 560X650X400mm
■电源：220V 50HZ 300W
