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技术指标
·扫描长度：≤10mm；
·垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm；
·扫描速度：2μm/s到200μm/s；
·扫描方式：探针双向移动、平台静止；
·采样频率：50Hz、100Hz、200Hz、500Hz、1000Hz，最大扫描数据采集点：100，000点；
·垂直范围分辨率：550μm台阶高度内测量分辨率0.328；
·扫描路径：在160mm直径范围内测量任意点；
·采样平台最大移动范围（手动）：X轴：151mm，Y轴：80mm，Θ：360°；
·最大样品厚度：21mm；
·最大样品重量：1kg。
主要用途
Alpha-Step IQ 轮廓仪是一种计算机化的、高灵敏度的表面轮廓仪，可测量样品粗糙度、波纹度和厚度，应用范围非常广泛。可测量各种材料，包括：
·磁盘
·半导体晶圆
·精密加工和抛光面
·微电子陶瓷
·平面显示器玻璃
·光学表面
