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    1、方法原理

         原理:利用硅区熔时硅中磷硼有效分凝系数的差别及磷硼从硅中蒸发系数的差别。

        方法:气氛区熔法。

   2、试样制备

         2.1 取样部位

               除在桥形硅多晶棒硅芯达接或者直的硅多晶棒离石墨卡头10mm一段外均可取样。

         2.2 试样尺寸

              直径:10-40mm

              长度:20-200mm

 

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