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产品介绍:
硅料磷、硼杂质含量测试仪，其主要用途是对多晶硅料的包括磷硼含量在内的超过75个元素进行分析。
产品特点:
■ 干扰少，精密读高，可以测量至 ppb 甚至 ppt 级的微量元素
■ 测试范围广，可以测量超过 75 个以上的元素
■ 分析速度快，每个样品的所有元素 2-6 分钟
■ 可同时分析多种元素 , 尤其适合分析用其它方法难以测定的元素
■ 超高灵敏度的元素分析仪器
■ 能进行无人控制操作
■ 具有痕量检测能力
■ 极低的仪器背景至 0.5-0.05cps
■ 体积小巧、功能全面
■ 可迅速获取同位信息，进行半定量分析
■ 最快的全谱同时测量能力和强大的抗干扰能力
■ 分辨率与灵敏度的最佳配置，优异的稳定性以及无与伦比的同位素丰度比值测量精密度
■ 动态线性范围达到 7 个数量级以上
■ 每一个样品中需要测量的元素数量多少均不影响样品分析的整体速度
技术指标:
■ 检出限： ppt 级
■ 样品分析能力：多元素分析，可以测量超过 75 个以上的元素，每个样品的所有元素 2-6 分钟
■ 测试范围：可测包括 B 、 P 等在内的超过 75 个元素
■ 线性动态范围： 10的8次方
推荐工作条件:
■ 室内环境温度15～30℃；相对湿度（全天候）不超过60%
■ 室内无强磁场干扰；无妨碍仪器正常工作的震动
■ 室内环境清洁、干燥、没有灰尘、无腐蚀性气体
■ 硅料磷硼含量测试仪是精密仪器 ，为防止酸、碱及其它腐蚀性气体、烟雾侵蚀仪器，必须和化学实验室分开；仪器光学系统对湿度、温度要求很高，实验室应安装空调及去湿设备
