• 晶体表面油污检测及处理方案
  • 晶体表面油污检测及处理方案
    					晶片表面有油污,很难以检测到,即便用KLA也难以判断,这主要是有检测原理决定的。有污染的晶片若被应用的外延,就会严重影响到LED的品质,使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必须有一个专业的设备进行探测与判断。
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