LED蓝宝石碳化硅质量检测仪器-合能阳光（中国）新能源技术有限公司-合能阳光，您的品质和竞争力专家

产品简介：

OWT-200平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。

产品特点：
■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
■无接触测量；
■无需校准；
■高精度、高重复性；
■样品台可选：4寸、6寸、8寸；
■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；

技术参数：
■TTV
■精确度：±0.1um
■重复性精度：0.01um

■厚度
     ■精确度：±0.2um
     ■重复性精度：0.1um
     ■测试范围：50-2000um

■翘曲度/弯曲度
     ■精确度：0.5um
     ■重复性精度：0.2um
     ■测试范围：200um

■整机参数
     ■测量时间：<100秒
     ■最大测量尺寸：8寸
     ■尺寸：550*602*291mm
     ■整机功率：800W

典型客户：
蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等。