光谱椭偏仪

光谱椭偏仪

光谱椭偏仪(PH-SE型)针对太阳能电池应用,可测量多晶硅/单晶硅绒面表面单层(二层或多层)减反射膜、和玻璃/有机基底上的薄膜太阳能电池。多层膜和非均匀薄膜的分析也非常出色。 针对太阳能电池应用的光谱椭偏仪基于最佳的椭偏光路设计,高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件,可测量各种太阳能电池的薄膜厚度和光学常数,光学带宽等。



光谱椭偏仪 - 产品特点

连续波长的光源为用户提供了更大的应用空间
更简便快捷的样品准直方法
软件具备丰富的材料数据库
允许用户自定义色散模型,更方便用户研究新材料的光学性质
全波长多角度同时数据拟合,EMA模型用户多成分化合物和表面粗糙度分析
具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
光谱范围宽达250 - 1100nm (可扩展至250-1700nm)
功能强大的光谱椭偏测量与分析软件




光谱椭偏仪 - 技术指标

光源:氙灯
光斑直径:1-3mm
入射角范围:20°到90°,5°/步
波长范围:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波长精度:1nm
 测量时间: < 8s (取决于测量模式和粗糙度)
 样品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm电池片, 其他尺寸

 测量精度:0.02nm
 折射率:0.0002, 100nmSiO2 on Si 
 厚度测量范围:0.01nm ~ 50um

 消光比:10-6



光谱椭偏仪 - 可选配

CCD线阵列探测元件:200-850nm,350-1000nm
样品显微镜
高稳定性消色差补偿器
透射测量架
XY移动样品台



光谱椭偏仪 - 典型客户

美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。