激光椭偏仪

多角度激光椭偏仪


多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量,能够测量薄膜厚度及其光学常数,使用632.8nm波长氦氖激光器,具有极高的精确度和准确度。



多角度激光椭偏仪 - 产品特点

可以测量单晶电池片、多晶电池片
可以测量抛光片,精确度和准确度极高
可以测量粗糙表面的“绒片”
适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数(偏振因数)进行测量和评估,提高测量精度
配置有高稳定度补偿器,提供最小的漂移值和最小的测量误差
配置有高精度的自动光学对准显微镜
可进行20°-90°范围内的多角度测量



多角度激光椭偏仪 - 测量特点

非破环性检测
样品准直简单方便
测量速度快
可变入射角范围宽
绝对测量
软件分析功能强



多角度激光椭偏仪 - 技术指标

光源:He-Ne激光器
光斑直径:1-2mm
入射角范围:20°到90°,5°/步
精度:0.002°~ 0.02°
膜厚精度:0.01mm,对100nmSiO2on Si
折射率精度:0.0005,对100nmSiO2on Si
激光光斑:直径1mm
激光波长632.8 nm




多角度激光椭偏仪 - 典型客户

美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。